磯村 雅夫/イソムラ マサオ

Masao Isomura
工学部電気電子工学科・教授
学位:博士(工学)

主要授業担当科目

  • 電気磁気学2
  • 太陽電池とクリーンエネルギー
  • 半導体工学特論


専門分野

  • 薄膜半導体
  • 太陽電池


現在の研究課題

  • 変換効率の向上
  • 低公害材料の開発


研究内容

無公害・無尽蔵な太陽エネルギーの開発は近未来の環境問題とエネルギー問題の解決を目指す上で重要なテーマです。基幹エネルギー源としての太陽電池の普及を実現させるためには、エネルギー変換効率の向上と経済性、リサイクル性の改善を同時に実現する次世代太陽電池の開発が不可欠です。多層膜構造やナノ構造による新機能を活用した太陽光の有効利用を実現する新型材料や新型構造の検討により、太陽電池の光学的及び電気的効率の飛躍的な向上を目指し研究を進めています。

所属学会

  • 応用物理学会
  • 米国材料学会(MRS)


主な論文・著書

  • “Fabrication of amorphous silicon nitride thin films by radio frequency sputtering with an inductively coupled plasma” Yuki Ishii, Tetsuya Kaneko, Kunio Okimura, Haruo Shindo and Masao Isomura, Thin Solid Films 624, 49-53 (2017).
  • “Solid Phase Crystallization of Germanium Films on Crystal Silicon” Kyota Kuroiwa, Tetsuya Kaneko and Masao Isomura, Thin Solid Films 621, 207-210 (2016).
  • “Reduction of plasma potential by applying negative DC cathode bias in RF magnetron sputtering” Masao Isomura, Toshinori Yamada, Kosuke Osuga and Haruo Shindo, Jpn. J. Appl. Phys. 55, 116201-1-6 (2016).
  • “Crystalline Silicon Germanium Films Grown on Crystalline Silicon Substrates by Solid Phase Crystallization” Yuji Kojima and Masao Isomura, Jpn. J. Appl. Phys. 54, 08KB01-1-5 (2015).
  • “Epitaxial growth of germanium thin films on crystal silicon substrates by solid phase crystallization” Masao Isomura and Mikuri Kanai, Jpn. J. Appl. Phys. 54, 04DR08-1-5 (2015).